一般表面或多孔材料对气体的物理吸附或吸收可用来获得高真空。可以在任一压强下利用吸附或吸收技术，但由于实际上的限制，它只作为某种特殊应用，在真空技术中发展起来。

为了消除油封机械泵产生的碳氢化合物污染的可能性，吸附泵常用于超高真空系统的粗抽，并且常常与干式(无油)机械泵一起使用。按抽气步骤依次使用两台或三台吸附泵，可以从真空容器中排走大量的空气。通过转换到离子-吸气剂泵抽气，可以获得足够低的压强而不使其过载。

利用吸附获得高真空，其方法可以是通过升温将吸附气体物质解吸，然后回到室温，也可以冷却到低温。

商业用吸附泵通常是为获得前级真空而设计的。然而，用基本结构类似的泵进行多级抽气也能获得高真空，但要有较高的入口流导。

气密封接的器件通常在升温条件下排气并封接。冷却期间，吸附位的数量要多到足以提供明显降低压强的抽气作用，从而可将压强降低一个或几个数量级。无数例子说明，凡有大的温度变化时，在高真空中必然存在吸附效应。例如，高真空炉在石必加热元件还热的情况下使真空护与泵隔离并切断电源，只要真空炉密封良好而且残余气休能被充分地吸附时将发生真空炉的高真空维持一夜的情况。